肖特打造立体式布局 全方位助推光刻行业发展

在中国，“十四五”规划将第三代半导体材料等视为重中之重，国家将在教育、科研、开发、融资、应用等方面，大力支持发展第三代半导体产业，解决半导体产业链关键环节“卡脖子”问题，以期实现产业快速发展。

背靠政策支撑，中国对于制造芯片的母机 —— 光刻机的需求也逐渐扩大。根据中国海关步进式光刻机进口情况显示， 2020年尽管新冠疫情爆发给各行各业造成一定影响，但我国步进式光刻机市场增长依然明显。

2019、2020年1-12月步进式光刻机进口量逐月数据图（单位：台）

（数据来源：中国海关、三胜咨询）

助力光刻，肖特三箭齐发

德国积极响应中国发展第三代半导体行业号召，通过从产品到解决方案的立体式布局，全力助推中国光刻行业发展，提供：

1. 基于玻璃光纤的光传输解决方案

2. 用于结构部件的零度®微晶玻璃

3. 具有365纳米紫外线高透射率的i-line玻璃

1. 基于玻璃光纤的光传输解决方案

光刻系统的关键特性在于针对镜头将晶圆进行快速、精确和可重复的定位，而肖特柔性导光束则是实现精确定位的理想选择。稳定、可靠、精准，是肖特打造柔性导光束非凡口碑的配方。

稳定方能取胜

肖特光导提供了高质量的光学参数组合，实现了高度稳定的光质量和强度，从而能够帮助客户提高产量。

可靠打造效率

肖特的光导管具有良好的机械性能和化学性能，易于集成到系统中，并且具有很长的使用寿命。能够有效降低客户使用时的故障率，从而提供生产效率。

精确成就口碑

FMEA过程分析确保生产过程稳定，肖特会跟踪所有相关的生产参数以实现可溯性和透明性，此外具有丰富经验的工程师也能确保提供极高的精度。

2. 肖特零度®（SCHOTT ZERODUR®）微晶玻璃

肖特零度®是一种低热膨胀微晶玻璃，常常被用于光刻机等对精度有着极为苛刻的要求的应用当中。

挑战严苛

肖特零度®（SCHOTT ZERODUR®)微晶玻璃有着接近于零的热膨胀率，能够减少材料在几何形状和大小方面的变化，实现0±7ppb/K的精度。并且肖特零度®微晶玻璃可根据客户实际的工作点（温度）对热膨胀曲线进行调整。

放开想象

复杂、轻质的零度®微晶玻璃零件

零度®微晶玻璃具有着非凡的可加工性能，可以根据客户的需求，通过CNC磨削加工成各种尺寸和形状，也可通过光刻实现精细结构的图案化，涵盖从i-line到KrF和ArF步进器到EUV光刻的整个技术范围。

堪称完美

即使对于大型零件（可达4.25米及更高），零度®的CTE 均匀性也非常出色。肖特通过先进的研磨和抛光使粗糙度低于几纳米，从而获得非凡基材。

3. 肖特i-line玻璃

肖特i-line玻璃是以代号为i的紫外汞谱线命名的光学玻璃类型，既可提供365纳米紫外线高透射率，又可确保高折射率均匀性。这些玻璃（如N-BK7HTi、FK5HTi、LF5HTi 和LLF1HTi）既可以定制形状也可以按客户要求提供成品元件。

i-Line玻璃通常适用于光刻应用，例如i-line步进机和晶圆扫描仪。

各行业领头企业的信赖之选

“由于肖特稳定的结构和规模，即使在充满挑战的时期，肖特也能承受市场波动，大量的资源允许我们对市场变化做出快速反应。正是因为可靠，肖特赢得了诸多行业内头部企业的信赖。”                                       

—— Kevin Zhang,

肖特光学成像事业部

布局光刻机，德国肖特可为合作伙伴提供全方位的支持，从具体应用产品到可定制化的解决方案，肖特助力合作伙伴一同探索光刻机的奥秘，于分毫间雕刻未来。